Нагрев подложек до фиксированной Т_подл=300⁰С, происходит в высоком вакууме при одновременном вращении подложкодержателя. При этом с поверхности оптических деталей удаляются пары воды и молекулы легких газов. Время нагрева 5–15 минут.

050 Нанесение оптического покрытия начинают после обезгаживания пленкообразующих материалов при закрытой заслонке. Для этого материал нагревают до температуры на 100 ⁰С ниже, чем Т_исп. В процессе прогрева давление вакуумной камеры повышается, а потом понижается до Р = 10^-3 Па. Обезгаживание считается законченным, когда давление восстанавливается до первоначального значения. Далее включают фотометр, выводят нагреватель или ЭЛИ на режим испарения, открывают заслонку и проводят испарение материала, фиксируя параметры испарителя или ЭП. Контроль за нанесением испарителя ведут по фотометру, используя фотометрический метод контроля. При нанесении просветляющих покрытий метод контроля на пропускание раздельный, так как m ≥3, и экстремальный.

051 Нанесение оптического покрытия PbF ₂

ИЭ

р=10^-3 Па

Т_исп = 855 °С

Т_подл=300 °С

U=6 кВ

I_н=10 –12 А

I_эм=20 – 40 мА

052 Нанесение оптического покрытия CeF ₃

ИЭ

р=10^-3 Па

Т_исп = 1460 °С

Т_подл=300 °С

U=6 кВ

I_н=10 –12 А

I_эм=20 – 40 мА

053 Нанесение оптического покрытия MgF ₂

ИЭ

р=10^-3 Па

Т_исп = 1263 °С

Т_подл=300 °С

U=6 кВ

I_н=10 –12 А

I_эм=20 – 40 мА

Разгерметизация вакуумной, камеры выгрузка готовых изделий

После окончания процесса нанесения выключается нагрев подложек и вращение подложкодержателя. При снижении Т_подл до 50°С камера отсекается высоковакуумным затвором от высоковакуумной системы откачки, производится напуск воздуха, открывается вакуумная камера и производится выгрузка оптических деталей в специальную кассету.

Контроль оптических параметров покрытий

В связи с проведением группового технологического процесса нанесения покрытий на контроль попадают от 2 до 3 штук из партии, проверяют параметры  и  на фотометре СФ-8 или СФ-4 и сравнивают полученные характеристики с расчетными. Определяют группу механической прочности на установке СД-500.

Построим графики зависимости от разности фаз:

Калибровка = 500

Экстремум №1 = 9304

Экстремум №2 = 9304

Экстремум №3 = 10397

Рис 1.15

Таблица 1.13

Задание 2

Для данной марки оптического материала произвести расчет однослойного, двухслойного и многослойного отражающего покрытия с максимальным коэффициентом отражения для данной длины волны l ₀ .

Подобрать оптические толщины и материалы напыляемых покрытий, а также методы их нанесения.

Варьируя оптической толщиной пленки в заданном интервале длин волн, построить спектральные зависимости коэффициента отражения R=f(b), R=f(l).

Для оптимальной конструкции покрытия составить технологическую карту его нанесения.

Исходные данные для варианта №9

Материал: стекло БК13 ГОСТ 3514-92;

Химическая устойчивость к пятнающим реагентам – III ;

Устойчивость к влажной атмосфере – А;

n_e = 1,5617.

Отражающие покрытия:

Однослойное: λ₀/4;

Двухслойное: λ₀/4– λ₀/4;

Многослойное: 4^х– λ₀/4;

λ₀=480 20 нм;

λ₁–λ₂=400–1200 нм;

Расчет отражающих покрытий